首先,空气速度从洁净区域顶部(限制进入屏障系统 [RABS] 或隔离器)到设备底部/机器机台面逐渐减小。 另外,众所周知的原理,撞击表面的气流必须绕着干涉轮廓流动,即垂直于冲击面的正交空气矢量速度为零,而其他矢量将显示以高速绕过物体。因此,根据干扰物的形状和单向流速度,可能会产生宏观涡流。从而,将空气和残留颗粒从表面带回物体上方,从而增加颗粒进入敞开的产品容器中的风险。这将有悖于空气保护的初衷。
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