泄露率表明了真空设备是否具有良好的密封性(这里指的是基础”泄露Base/Real Leaks,而非“虚拟“泄露Virtual Leaks)。真空完整性测试是工厂验收测试(FAT)、现场验收测试(SAT)和/或运行确认(OQ),乃至整个设备使用生命周期内的重要工作内容。一旦发现设备漏率无法到达预先制定和曾实践的标准,那么应当对设备进行检查,找到导致泄露的设备缺陷并进行维护,不能简单的妥协。
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